Gāzes plūsmas mērītājs ir gāzes plūsmas mērīšanas instruments. Uzstādīts cauruļvadā, lai reģistrētu gāzes daudzumu, kas plūst caur. Var izmērīt gāzi, gaisu, slāpekli, acetilēnu, fosgēnu, ūdeņradi, dabasgāzi, slāpekli, sašķidrināto naftas gāzi, ūdeņraža peroksīdu, dūmgāzi, metānu, butānu, hloru, kurināmā gāzi, biogāzi, oglekļa dioksīdu, skābekli, saspiestu gaisu, argona gāzi, toluolu, benzolu, ksilolu, sērūdeņradi, sēra dioksīdu, amonjaku utt.
Termiskās gāzes masas plūsmas mērītāji izmanto termiskās difūzijas principu, kas ir tehnoloģija ar lielisku veiktspēju un augstu uzticamību skarbos apstākļos. Tā tipiskie sensorelementi ietver divas termiskās pretestības (platīna RTD), viens ir ātruma sensors, bet otrs ir temperatūras sensors, kas automātiski kompensē gāzes temperatūras izmaiņas. Kad vidē ievieto divus RTD, ātruma sensoru uzkarsē līdz nemainīgai temperatūrai virs apkārtējās vides temperatūras, bet otru temperatūras sensoru izmanto, lai sajustu barotnes temperatūru. Caur ātruma sensoru plūstošā gāzes masas plūsmas ātrumu aprēķina pēc sensora siltuma pārneses daudzuma. Kad gāzes plūsmas ātrums palielinās, palielinās siltums, ko atņem barotne. Sensora temperatūra attiecīgi samazinās. Lai saglabātu nemainīgu temperatūru, darba strāva caur sensoru ir jāpalielina, un šīs palielinātās strāvas daļas izmērs ir proporcionāls barotnes plūsmas ātrumam.